GLANZOX系列
隨著半導(dǎo)體器件集成度的大尺寸晶片集成度的提高,無(wú)損傷、無(wú)灰霧、無(wú)重金屬污染、無(wú)脂肪、無(wú)納米形貌的鏡面硅表面是必不可少的。富士見(jiàn)公司開發(fā)的 GLANZOX 系列正是為了滿足這一要求。GLANZOX 拋光劑由分散在由特殊成分組成的液體中的膠體二氧化硅構(gòu)成。該產(chǎn)品可獲得幾乎完美的拋光表面。最近,為了滿足大幅減少影響設(shè)備特性的金屬雜質(zhì)的要求,我們開發(fā)出了更高級(jí)別的拋光劑。
二、GLANZOX代表物性關(guān)于騰駿
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