碲鋅鎘拋光液
碲鋅鎘CMP拋光液是廣東騰駿化工科技有限公司生產(chǎn)的新一代水溶性高純度CMP漿料,具有穩(wěn)定性好、濃度高、拋光速率快等特點(diǎn)。該產(chǎn)品在實(shí)際應(yīng)用中憑借高稀釋比例、低金屬離子污染等卓越的性能得到了客戶的充分肯定,主要用于碲鋅鎘晶片的拋光工藝中。
二、主要特點(diǎn)碲鋅鎘CMP漿料采用我公司自主合成生產(chǎn)的高純納米SiO2水溶膠作為磨料,具有生產(chǎn)自動化高,穩(wěn)定性好,濃度較高,粒徑均一性好,雜質(zhì)沾污少等特點(diǎn)。該產(chǎn)品選用的輔助試劑多為有機(jī)試劑,避免了無機(jī)物對設(shè)備的腐蝕以及操作的危險(xiǎn)性。產(chǎn)品無毒無味,非常適用于碲鋅鎘晶片的拋光工藝。在拋光中根據(jù)需要可以優(yōu)化不同配比,均能達(dá)到最佳使用效果。與同類產(chǎn)品相比,該產(chǎn)品能夠有效控制晶片表面的各種金屬沾污,主要參數(shù)指標(biāo)均能滿足IC要求。
三、主要用途碲鋅鎘CMP拋光液主要用于晶片的粗拋以及高質(zhì)量拋光,也可用于鍺片的拋光。
四、基本參數(shù)pH值 | 比重 | 粘度(mPa.s,25℃) | 粒徑(nm) | SiO2% | 外觀 |
10.0-11.0 | 1.265-1.300 | ≤5 | 120-140 | 38-42 | 乳白 |
根據(jù)工藝將拋光原漿料按一定比例與去離子水混合后使用。
六、注意事項(xiàng)1、漿料使用過程中盡量避免直接暴露,防止污染物進(jìn)入漿料中造成劃傷。
2、冬季氣溫較低(<5℃)時(shí),漿料不可放置室外,需存放在恒溫倉庫,一旦發(fā)生凝膠將不可使用。
3、漿料使用過程中需要及時(shí)清洗管路和器具,避免漿料長期殘留在管路和容器中造成凝膠,引起晶片表面劃傷。
4、漿料循環(huán)使用時(shí),需要在管口添加過濾裝置,以免發(fā)生凝膠而又反復(fù)應(yīng)用時(shí)造成晶片表面劃傷。
七、運(yùn)輸及保存1、運(yùn)輸與存放溫度為5-40℃,25℃為最佳存放溫度,存放時(shí)應(yīng)避光,以避免拋光液變質(zhì)。
2、保質(zhì)期一年,建議半年內(nèi)使用。
3、避免金屬、顆粒污染,避免強(qiáng)電解質(zhì)的接觸。
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