TJHG-SH-558型藍(lán)寶石基片CMP拋光液是廣東騰駿化工科技有限公司生產(chǎn)的高純度膠體漿料。該產(chǎn)品是為了適應(yīng)藍(lán)寶石行業(yè)提高加工效率的需要而生產(chǎn)的新一代藍(lán)寶石基片CMP拋光液，應(yīng)用在藍(lán)寶石襯底晶片4寸片的雙面拋光工藝中，產(chǎn)品投放市場后達(dá)到了較好的使用效果。產(chǎn)品CMP加工中具有移除速率高、懸浮性強(qiáng)、易清洗、使用壽命長等特點。

TJHG-SH-558型藍(lán)寶石基片CMP拋光液選用我司自行生產(chǎn)的單質(zhì)硅水解法納米二氧化硅水溶膠作為磨料，具有濃度較高，粒徑均一性好，雜質(zhì)沾污少等特點。該產(chǎn)品選用的輔助試劑多為有機(jī)試劑，避免了無機(jī)物對設(shè)備的腐蝕以及操作的危險性。產(chǎn)品無毒無味，適合藍(lán)寶石行業(yè)封閉性較好的生產(chǎn)環(huán)境使用。產(chǎn)品在CMP工藝中具有易清洗、移除效率高、拋光平整度高等特點。在CMP過程中根據(jù)需要可以優(yōu)化不同配比，均能達(dá)到最佳使用效果。同時，該產(chǎn)品在CMP過程中無結(jié)晶，劃傷少，穩(wěn)定性好，無毒無味。

主要用于各種尺寸的藍(lán)寶石基片的高質(zhì)量平整化加工。

TJHG-SH-558 型藍(lán)寶石拋光液建議和去離子水的配比為1:1循環(huán)使用或1:2-3不循環(huán)使用， 也可根據(jù)實際要求改變配比。

1、CMP拋光液使用過程中盡量避免直接暴露，防止污染物進(jìn)入漿料中造成劃傷。

2、冬季氣溫較低（<5℃）時，漿料不可放置室外，需存放在恒溫倉庫，一旦發(fā)生凝膠將不可使用。

3、漿料使用過程中需要及時清洗管路和器具，避免漿料長期殘留在管路和容器中造成凝膠，引起晶片表面劃傷。

4、拋光液循環(huán)使用時，需要在管口添加過濾裝置，以免發(fā)生凝膠而又反復(fù)應(yīng)用時造成晶片表面劃傷。

1、運輸與存放溫度為5-40℃，25℃為最佳存放溫度，存放時應(yīng)避光，以避免拋光液變質(zhì)。

2、保質(zhì)期一年，建議半年內(nèi)使用。

3、避免金屬、顆粒污染，避免強(qiáng)電解質(zhì)的接觸。

25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。