TJHG-SH-2125型硅材料CMP拋光液是廣東騰駿化工科技有限公司研發(fā)生產(chǎn)的應(yīng)用于各種硅片及晶體材料拋光的高端產(chǎn)品。該產(chǎn)品具有去除速率高、表面粗糙度好、無劃傷等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)在國內(nèi)多家生產(chǎn)線上使用，能夠滿足生產(chǎn)使用要求，可以替代現(xiàn)有國外同類進(jìn)口產(chǎn)品。

TJHG-SH-22125型硅材料CMP拋光液采用我司自主合成的SiO2水溶膠作為磨料，而磨料合成過程以及拋光液的生產(chǎn)采用全自動化控制，能夠確保產(chǎn)品批次間的穩(wěn)定性與一致性。與同類產(chǎn)品相比，該產(chǎn)品具有良好的穩(wěn)定性和分散性；粒度可控，根據(jù)不同需要可生產(chǎn)不同粒度的產(chǎn)品，利用大粒徑二氧化硅粒子達(dá)到高速拋光的目的；拋光表面效果好以及對工件無損傷，達(dá)到高平坦化加工等優(yōu)點(diǎn)。

主要用于硅片及其他半導(dǎo)體材料的拋光。

建議TJHG-SH-2125型漿料和去離子水的配比為1：15-20，也可根據(jù)實(shí)際工藝要求改變配比。

1、漿料使用過程中盡量避免直接暴露，防止污染物進(jìn)入漿料中造成劃傷。

2、冬季氣溫較低（<5℃）時，漿料不可放置室外，需存放在恒溫倉庫，一旦發(fā)生凝膠將不可使用。

3、漿料使用過程中需要及時清洗管路和器具，避免漿料長期殘留在管路和容器中造成凝膠，引起晶片表面劃傷。

4、漿料循環(huán)使用時，需要在管口添加過濾裝置，以免發(fā)生凝膠而又反復(fù)應(yīng)用時造成晶片表面劃傷。

1、運(yùn)輸與存放溫度為5-40℃，25℃為最佳存放溫度，存放時應(yīng)避光，以避免拋光液變質(zhì)。

2、保質(zhì)期一年，建議半年內(nèi)使用。

3、避免金屬、顆粒污染，避免強(qiáng)電解質(zhì)的接觸。

25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。