①溫度：溫度升高，加強(qiáng)了拋光液化學(xué)反應(yīng)才能，拋光速率添加。但過(guò)高的溫度會(huì)引起拋光液的揮發(fā)，以及加速化學(xué)反應(yīng)，外表腐蝕嚴(yán)峻，因而會(huì)發(fā)生不均勻的拋光效果，使拋光質(zhì)量下降。
②pH值：拋光液的pH值越高，堿性越強(qiáng)，反應(yīng)速率越快。但pH值對(duì)被拋外表刻蝕、磨料的分解與溶解度、拋光液的穩(wěn)定性有很大的影響，然后影響資料的去除率和外表質(zhì)量，因此應(yīng)嚴(yán)厲控制。
③壓力：一般地，壓力越大，拋光速率越快?？墒菈毫ψ銐虼髸r(shí)，拋光速率會(huì)稍微下降，原因是壓力大，拋光墊承載拋光液才能下降。別的，壓力大易構(gòu)成破片現(xiàn)象。
④轉(zhuǎn)速：轉(zhuǎn)速添加，會(huì)引起拋光速率添加。但轉(zhuǎn)速過(guò)高又會(huì)使拋光液在拋光墊上散布不均勻，影響拋光質(zhì)量。
⑤拋光液濃度：拋光液的濃度添加時(shí)，去除率也隨之添加，但當(dāng)磨粒濃度超過(guò)某一值時(shí)，材料去除率將停止添加，保持一個(gè)常數(shù)值，這種現(xiàn)象稱為去除飽和。并且過(guò)高的濃度，有可能造成表面缺點(diǎn)(劃痕)添加，影響外表質(zhì)量。
